中华不锈钢网数据获悉:分别列出了玻璃和不锈钢衬底上所生长的CIGS薄膜XRD图谱（X射线入射角度为10°，入射深度超过5m）。可以看出，这两种衬底上的CIGS薄膜均展现出（220/204）、（112）等黄铜矿结构的特征峰，而不锈钢衬底上薄膜明显存在Fe的3个衍射峰。与玻璃衬底相比，生长在不镑钢衬底上的Mo（110）、CIGS（112）和CIGS（220）/（204）等衍射峰强度明显减弱，各主峰出现宽化现象（中已列出相应的半高宽（FWHM）），这种薄膜结晶质量的变化与衬底表面粗糙度直接相关。不锈钢衬底的表面粗糙度明显高于玻璃衬底（表1），导致随后生长的Mo层、CIGS结晶质量变差。另外，由玻璃衬底中扩散到CIGS吸收层中的Na也可显着改善薄膜的成膜质量181.为玻璃衬底和不锈钢衬底生长的CIGS吸收层的表面形貌。玻璃衬底上的CIGS颗粒密集紧凑（（b）），尺寸约在2~3m左右；而不锈钢衬底生长的CIGS薄膜颗粒疏松呈层片状，其尺寸约a 2~0.5m左右，明显小于玻璃衬底薄膜。这说明玻璃衬底生长的CIGS薄膜具有良好的结构特性，与XRD测试结果一致。
吸收层的粗糙度测量结果。同不锈钢衬底相比，玻璃衬底具有较小粗糙度，这使玻璃衬底生长的Mo层、InGaSe预制层和CIGS薄膜的表面粗糙度都明显低于不锈钢衬底上生长的薄膜。不锈钢较大的表面粗糙度会产生以下问题：（1）产生大量的CIGS形核中心，导致晶粒细小和更多的晶界缺陷；（2）在高温沉积过程中，表面粗糙会增加衬底、背接触以及CIGS层之间的界面面积，增加了衬底中有害杂质向CIGS中的扩散；（3）衬底的较大表面突起会穿透Mo背接触层和CIGS吸收层，导致短路点的形成191.从表1中可看出，Cr阻挡层的加入显着地降低不锈钢衬底上生长的Mo层、InGaSe预制层及CIGS吸收层的粗糙度，在一定程度上改善了不锈钢衬底生长CIGS薄膜的结晶质量。
1.2.2激发参数激发频率：80Hz；激发电容：7.0呷；激发电阻：6. 0火花间隙：2.0mm；氩顶角纯钨电极（9 3.0mm）温度采集频率：1.2.3数据采集和处理信号采集速度为200 kHz/通道。采用OPA-100软件绘制工作曲线、处理分析结果。
1.2.4测试元素及其波长Cr：298. 1.3实验样品设定冲气时间为5s预燃时间为1s在标准样品的中心扫描激发，激发面积为10mmX10mm.利用金属原位分析系统采集各个通道所有强度数据，保存数据。采集完所有标准样品数据后利用金属原位分析系统进行计算。
2.1两种绘制工作曲线方式的比较2.1.1以强度比和含量绘制工作曲线传统的无预然、连续扫描激发以及单次火花放电解析技术的原位统计分布分析（OPA）方法，已用于材料成分分布缺陷分析及非金属夹杂物分析等+83.但是在成分分析方面（尤其是高合金样品分析）仍存在一些问题，表现在曲线线性不好，含量分析准确度差等。由于OPA采取无预燃的激发方式，因此火花强度的稳定性差，对于高合金样品分析时，因为基体差异性较大（如不锈钢基体Fe质量分数从50%变化到90%）基体的火花强度也变化较大，如果还用基体谱线作为内参的传统方法绘制工作曲线，其线性不好，导致分析结果准确度差。本文提出了一个新的数学模型，在绘制工作曲线时采用含量比与强度比制作工作曲线，并通过建立的基体校正模型对不锈钢中镍和铬含量进行分析，获得了较好的测试结果。
1实验部分11主要仪器OPA-100金属原位分析仪（北京纳克分析仪器有限公司）1.2仪器参数1.2.1样品扫描方式和速度样品扫描方式为面扫描，扫描速度为1mm/s；单行扫描时间30s行间间歇冲气时间15s.基金项目：科技部科学仪器升级改造项目（JG-99-5）绘制曲线方式：定点激发取得各个通道强度值的平均值与基体参比通道强度值的平均值的比值，以该强度比值为横坐标，以通道元素含量为纵坐得的强度数据制作工作曲线见，。
2.1.2以强度比和含量比绘制工作曲线通过扫描激发取得每一个火花通道强度与参比强度比值的平均值，以该强度比值为横坐标，以通道元素含量与基体含量比值为纵坐标绘图 。
5nm）采用含量比一强度比绘制工作曲线与采用含量一强度比相比，数据点更加集中于曲线上，曲线拟合性好。
2.2基体校正数学模型在绘制工作曲线时可以由OPA采集到各个通道的强度，计算求出强度比，再由标准样品数据库查出当前元素以及基体元素的含量，然后计算出含量比绘制工作曲线。但是通过该工作曲线，和仪器采集到的强度比，仅能得到含量比，由含量比得到含量，必须经过计算，因此提出以下数据学计算模型。
假定OPA共有n个通道，其中m个元素采用含量比工作曲线进行分析，有n―m个通道米用含量工作曲线直接进行分析，则由工作曲线经过计算得到m个含量比（R1，R2，Rm）n m个含量（C1，C2，…。Cm）。设基体含量为G，m个含量比对应的含量分别为CW，2，……Crm.因为所有元素的含量加和为100，所以有以下等式：则根据Cb可以依次求出各个含量比对应的含量2.3基体校正模型的实际应用根据基体校正数学模型绘制工作曲线对实际样品中镍和铬进行计算，采用建立的模型分析样品时准确度得到了很大的提高，偏差均明显减小，更接近于真实值，证明所采用的模型是有效的。中华不锈钢网数据获悉
